探測器

分辨率、像元大小

標(biāo)準(zhǔn)分辨率 CCD 相機(jī)

0780 x?0582 毫米，8.33 微米

高分辨率 CCD 相機(jī)

1388 x 1038,6.45 微米

超高分辨率 CCD 相機(jī)

2452 x 2056,3.45 微米

制冷型 Scientific CCD 相機(jī)

1344 x 1024,6.45 微米

光電倍增管

1 um 狹縫孔徑

?

?

視場角生成器

范圍、精度、負(fù)載能力

旋轉(zhuǎn)臺臺

+/-120 度，5 秒，25 千克

擺臂（線性平臺）

+/-030 度，5 秒，50 公斤

擺臂（線性載物臺）

+/-045 度，5 秒，50 公斤

擺臂（圓形舞臺）

+/-120 度，5 秒，200 公斤

光束轉(zhuǎn)向鏡

+/-020 度，5 秒，NA

?

?

準(zhǔn) 直 器

直徑、波前精度

Off-Axis Parabola

100 - 500 毫米，lambda/10 @ 633nm

消色差雙合透鏡/三合透鏡

025 - 100 毫米，lambda/50?@ 633nm

?

?

光源

描述

可見對象生成器

50W T-H 燈，冷凝器光學(xué)元件

光纖光源

50W T-H 燈，光纖電纜

?

?

電動(dòng)載物臺

規(guī)范

焦點(diǎn)、視野、高度

線性，50 或 100 mm 行程

視場角

線性或旋轉(zhuǎn)

鏡頭旋轉(zhuǎn)

旋轉(zhuǎn) 360 度，孔徑可達(dá) 200 毫米